洁净室的压差要求
压差检测要求
静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行;
在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间;
测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行;
所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。
压差检测步骤:
先关闭所有的门;
用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差;
记录所有数据。
压差标准要求:
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa;
洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa;
对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值;
若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
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